Tecnologie microelettroniche - (5 cfu)

Prof. Carlo Morandi Tel. 0521.905823 - Fax. 0521 905822
  E-mail. carlo.morandi@unipr.it
  Home page. http://ee.unipr.it/~morandi/


Finalità

Il corso intende fornire allo studente alcune nozioni sulle tecnologie di fabbricazione dei circuiti integrati VLSI.

Programma

- Processo planare del silicio;
- Fabbricazione del silicio monocristallino;
- Fotolitografia;
- Ossidazione;
- Drogaggio per diffusione termica e impiantazione ionica
- Deposizione, epitassia
- Attacchi
- Metallizzazioni e interconnessioni
- Problemi di “packaging”

Attività d'esercitazione

Verranno svolte in aula esercitazioni per mostrare agli studenti l'uso di alcuni strumenti software per la simulazione del processo tecnologico

Modalità d'esame

Prova orale

Testi consigliati

S.M. SZE: " VLSI Technology ", McGraw-Hill, 1988
G. SONCINI: " Tecnologie Microelettroniche ", Boringhieri, 1986


Ultimo aggiornamento: 10-06-2003


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