Tecnologie microelettroniche - (5 cfu)

Prof. Giovanna Sozzi Tel. 0521 906044 - Fax. 0521 905822
  E-mail. giovanna.sozzi@unipr.it
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Finalità

Il corso intende fornire allo studente alcune nozioni sulle tecnologie di fabbricazione dei circuiti integrati VLSI e dei principali dispositivi a semiconduttori composti.

Programma

- Processo planare del silicio;
- Fabbricazione del silicio monocristallino;
- Fotolitografia;
- Ossidazione;
- Drogaggio per diffusione termica e impiantazione ionica
- Deposizione, epitassia
- Attacchi
- Metallizzazioni e interconnessioni
- Problemi di “packaging”
- Tecnologia e principi di funzionamento di alcuni dispositivi a semiconduttori composti.

Modalità d'esame

Prova orale

Testi consigliati

S.M. SZE: " VLSI Technology ", McGraw-Hill, 1988
G. SONCINI: " Tecnologie Microelettroniche ", Boringhieri, 1986


Ultimo aggiornamento: 10-02-2007


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